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AlN ? ? ?

2 ??, XRC (002 / 102) & nbsp; ≤ & nbsp; 80 / 400 arcsec, ?? ?? ? (5%), AFM RMS (< 1nm), ?? 1 ~ 3um ?? ??

Algan ? ? ?

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WAlN-SA400 Sapphire / AlN ?? ? / ? ? ? SA400 ≤ 80 arcsec ≤ 400 arcsec 2~3 μm ≤ 1 nm ≤ 3 mm ?? ? ? ?? ? ???? ??.
WAlN-NS400 NPS / AlN ?? ? / ? ? ? NS400 ≤ 200 arcsec ≤ 200 arcsec ≥ 5 μm ≤ 1 nm ≤ 3 mm ?? ? ? ?? ? ???? ??.
WAlN-SC001 SiC / AlN ?? ? / ? ? ? SC001 50~5000 nm ?? ? ? ?? ? ???? ??.
WAGN-AN001 Algan ?? ? / ? ? ? AN001 ≤ 300 arcsec ≤ 500 arcsec 1~2 μm ≤ 2 nm ≤ 3 mm ?? ? ? ?? ? ???? ??.

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