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10 ? ? ? ? ?? MOCVD ? ?? ?? ?? ???, ?? AlN ? Al ? ?? ? 0.4 ? ? ? AlGan ? ?? ?? ? n ? ? ? ? ? ??.
2 ??, XRC (002 / 102) & nbsp; ≤ & nbsp; 80 / 400 arcsec, ?? ?? ? (5%), AFM RMS (< 1nm), ?? 1 ~ 3um ?? ??
? ?? AlN ? ? ? ? ? ?? ?? AlxGa1-xN ? ? ?, Al ?? 0.4 ~ 1 ?? ??, n ? ? ? ??? ?? ≥ 3e18 cm-3
?? ?? | ?? ?? | ?? ??? | ?? ?? (002) | ?? ?? (102) | ?? ? ?? | ?? ?? | ??? ?? | ?? ? |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
WAlN-SA400 | Sapphire / AlN ?? ? / ? ? ? | ![]() |
≤ 80 arcsec | ≤ 400 arcsec | 2~3 μm | ≤ 1 nm | ≤ 3 mm |
![]() |
WAlN-NS400 | NPS / AlN ?? ? / ? ? ? | ![]() |
≤ 200 arcsec | ≤ 200 arcsec | ≥ 5 μm | ≤ 1 nm | ≤ 3 mm |
![]() |
WAlN-SC001 | SiC / AlN ?? ? / ? ? ? | ![]() |
50~5000 nm |
![]() |
||||
WAGN-AN001 | Algan ?? ? / ? ? ? | ![]() |
≤ 300 arcsec | ≤ 500 arcsec | 1~2 μm | ≤ 2 nm | ≤ 3 mm |
![]() |
? ??? AlN ? AlGaN ?? ?? ?? ? ?? ?? ? ? ???? ? ? ? ? ? ??? ?? ?, LED ? HEMT ? ?? ?? ? ? ? ? ????.
?? ? ? PIN, A PD, ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? AlGan ? ??? ?? ?? ???? ?? ??, ?? ??.??? ? ??? ?? ? ? ? ? ??? ?? ? ?? ?? ??? ?? ?? ?? ??, ?? ? ? ? ? ? ?? ?? ?? ? ? ? ? ?? ??? ? ?? ? ? ? ? ? ????.
?? ?? ? ? ? ? ? UVC - LED ?? ?? ?? ?? ? ?? ?? ?? ? ?? ? UVC - LED ?? ? ? ? Nano / Micro - LED ? ? ?? ?? ?? ? ?? ??? ?? ??.2 ??, ?? 270 ~ 280 nm, 3030 ? 120 mA ? 8 ~ 12 mW, ? ?? 10V
?? ? ? ? ? HEMT ?? ??? ?, ?? ??? ??? ? ? ? ?? ?? ? ?? ? ? ? ?? ?? ? ? ?.?? ? ? ? ? 275 ? ? / □, 2 ?? ??? ? 1.2e13 cm-3?? ? 1900 cm2/Vs
?? ?? ?? ? ? ?? ? ? ?? ?? ? ? ? ??? ?? ?? ? ?, ?? ?? ??, ?? ??, ?? ?? ?? ? ? ? ??.