8月8日，由國(guó)家半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟（CSA）、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟（CASA）主辦的“紫外光電器件培訓(xùn)會(huì)”在揚(yáng)州會(huì)議中心成功舉辦，40余家單位代表參加了培訓(xùn)。CSA常務(wù)副秘書(shū)長(zhǎng)阮軍出席會(huì)議并致辭，與北京大學(xué)沈波教授、廈門(mén)大學(xué)康俊勇教授、南京大學(xué)陸海教授共同主持了本次培訓(xùn)會(huì)。

CSA常務(wù)副秘書(shū)長(zhǎng)  阮軍

CSA常務(wù)副秘書(shū)長(zhǎng)阮軍在致辭中表示，紫外光電器件作為半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)新的市場(chǎng)方向，具有廣闊的應(yīng)用前景。為行業(yè)了解紫外LED及探測(cè)器技術(shù)進(jìn)展，培養(yǎng)掌握理論、實(shí)踐綜合知識(shí)的高素質(zhì)復(fù)合人才，聯(lián)盟組織邀請(qǐng)了紫外光電從外延、芯片、封裝等領(lǐng)域的教授、專(zhuān)家開(kāi)展此次培訓(xùn)會(huì)，感謝諸位專(zhuān)家老師能百忙之中安排時(shí)間授課，希望參與培訓(xùn)的學(xué)員能夠充分抓住此次學(xué)習(xí)機(jī)會(huì)，與專(zhuān)家老師們深入交流，掌握先進(jìn)技術(shù)同時(shí)，也為企業(yè)和產(chǎn)業(yè)貢獻(xiàn)力量。

氮化物半導(dǎo)體在半導(dǎo)體照明、新一代移動(dòng)通訊、新一代通用電源、雷達(dá)新能源汽車(chē)等領(lǐng)域有重大應(yīng)用，對(duì)國(guó)家的產(chǎn)業(yè)升級(jí)、節(jié)能減排、國(guó)防安全具有戰(zhàn)略意義。同時(shí)，氮化物半導(dǎo)體也是全球高技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)的關(guān)鍵領(lǐng)域之一，其中AlN和高Al組分AlGaN是固態(tài)和紫外發(fā)光不可替代的半導(dǎo)體材料。

北京大學(xué) 沈波教授

北京大學(xué)理學(xué)部副主任、寬禁帶半導(dǎo)體中心副主任沈波教授分享《藍(lán)寶石上AIN的外延生長(zhǎng)和深紫外LED器件的研究》。報(bào)告中指出，由于異質(zhì)外延和體系內(nèi)部大失配、強(qiáng)極化的特性，AlN、高Al組分AlGaN及其量子結(jié)構(gòu)的外延生長(zhǎng)和DUV-LED研制依然面臨一系列關(guān)鍵科學(xué)和技術(shù)問(wèn)題，需要開(kāi)展更為系統(tǒng)的研究。采用高溫退火和“小合攏區(qū)NPSS側(cè)向外延”方法制備出高質(zhì)量AlN和高Al組分AlGaN外延層，AlN層X(jué)RD搖擺曲線半高寬為132(002)/140（102）arcsec，i-AlNGaN層（58%Al組分）為151（002）/235（102）arcsec；發(fā)光波長(zhǎng)279nm，IQE超過(guò)80%。

廈門(mén)大學(xué) 康俊勇教授

廈門(mén)大學(xué)康俊勇教授分享《紫外LED發(fā)光機(jī)理和科學(xué)問(wèn)題》主題報(bào)告。報(bào)告中首先介紹了半導(dǎo)體紫外光源優(yōu)勢(shì)，對(duì)LED發(fā)光機(jī)理及半導(dǎo)體/金屬電極歐姆接觸、注入效率、內(nèi)量子效率、出光效率、效率下降、非平衡生長(zhǎng)等科學(xué)要點(diǎn)問(wèn)題進(jìn)行了詳細(xì)講解。

華中科技大學(xué) 陳長(zhǎng)清教授

發(fā)展深紫外LED產(chǎn)業(yè)意義重大，完全符合國(guó)家發(fā)展戰(zhàn)略。華中科技大學(xué)陳長(zhǎng)清教授分享《紫外LED技術(shù)及應(yīng)用》主題報(bào)告。報(bào)告中指出，紫外光源市場(chǎng)中，傳統(tǒng)汞燈正逐步被UV-LED取代，紫外UV-LED在光固化、光療、殺菌消毒的領(lǐng)域已成為未來(lái)技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)。近紫外LED固化市場(chǎng)處于快速增長(zhǎng)期，CAGR~23%，深紫外LED殺菌凈化市場(chǎng)處于爆發(fā)性增長(zhǎng)初期，CAGR~210%。近紫外LED技術(shù)較為成熟并發(fā)展迅速，已應(yīng)用于噴繪、膠印、光纖、液晶等領(lǐng)域的光固化。實(shí)現(xiàn)芯片及光源系統(tǒng)的光、熱和結(jié)構(gòu)協(xié)同匹配優(yōu)化成為工作重點(diǎn)。深紫外LED芯片性能仍需提高，制備高質(zhì)量的AlGaN材料和提高芯片光提取效率將是未來(lái)深紫外LED的研究重點(diǎn)。

南京大學(xué)陸海教授

南京大學(xué)陸海教授詳解《紫外光電探測(cè)器技術(shù)及應(yīng)用》主題報(bào)告。首先從技術(shù)應(yīng)用背景與需求，紫外探測(cè)器分類(lèi)與基礎(chǔ)知識(shí)，紫外探測(cè)器技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀，面臨的科學(xué)與技術(shù)問(wèn)題詳細(xì)展開(kāi)。常規(guī)結(jié)構(gòu)GaN基和SiC紫外探測(cè)器已經(jīng)達(dá)到產(chǎn)業(yè)化水平，并在不斷拓展新型應(yīng)用；用于材料成熟度較高，SiC紫外單光子探測(cè)器已經(jīng)可以實(shí)現(xiàn)較好的性能；寬禁帶紫外單光子探測(cè)技術(shù)正向“成像陣列”方向發(fā)展。寬禁帶光電探測(cè)器在EUV和軟x射線探測(cè)領(lǐng)域可能有新進(jìn)展。

華中科技大學(xué) 陳明祥教授

華中科技大學(xué)陳明祥教授介紹《紫外/深紫外LED封裝技術(shù)》研究報(bào)告。他表示，紫外LED技術(shù)優(yōu)勢(shì)明顯，已替代汞燈成為新一代紫外光源。淺紫外LED可采用白光 LED封裝技術(shù)（材料/結(jié)構(gòu)/工藝），主要應(yīng)用于光固化、光催化、防偽等領(lǐng)域；深紫外LED必須采用全無(wú)機(jī)封裝材料，氣密封裝、低溫焊接，與提高光效是其技術(shù)關(guān)鍵；深紫外LED器件主要應(yīng)用于殺菌/消毒，在流動(dòng)空氣與水體，凈化領(lǐng)域前景廣闊?？煽啃院统杀臼怯绊懮钭贤釲ED器件應(yīng)用的主要因素。

北京華創(chuàng)智道知識(shí)產(chǎn)權(quán)咨詢(xún)服務(wù)公司副總裁禇戰(zhàn)星

北京華創(chuàng)智道知識(shí)產(chǎn)權(quán)咨詢(xún)服務(wù)公司副總裁禇戰(zhàn)星分享了《UVLED專(zhuān)利技術(shù)分析》專(zhuān)題報(bào)告。全球?qū)＠焖僭鲩L(zhǎng)，進(jìn)入布局黃金時(shí)期。照明、消毒、醫(yī)療等應(yīng)用是未來(lái)布局重點(diǎn)。美、日、韓進(jìn)入中國(guó)步伐加快。他建議，就UVLED技術(shù)專(zhuān)利布局要做好產(chǎn)業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)風(fēng)險(xiǎn)應(yīng)對(duì)工作，建立起產(chǎn)業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)主場(chǎng)優(yōu)勢(shì)，關(guān)注跟蹤主要競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手全球布局，加強(qiáng)該產(chǎn)業(yè)專(zhuān)利全球布局。

東莞市國(guó)瓷新材料科技有限公司吳朝暉博士

東莞市國(guó)瓷新材料科技有限公司吳朝暉博士帶來(lái)了《UVLED陶瓷封裝基板及封裝技術(shù)》主題報(bào)告。據(jù)了解，2022年全球UVLED市值將達(dá)到12.3億美金，其中深紫外LED將達(dá)到9億美元，對(duì)應(yīng)的陶瓷基板市值約2億美金，年復(fù)合增長(zhǎng)率74%。未來(lái)深紫外封裝技術(shù)朝向更高能量密度發(fā)展，并且深紫外LED市場(chǎng)面臨消費(fèi)者對(duì)其功能性、安全性、便利性和性?xún)r(jià)比四大因素的綜合考量。

中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所魏學(xué)成研究員

中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所魏學(xué)成研究員分享了《紫外光電器件及應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)綜述》主題報(bào)告，從紫外光源器件技術(shù)與市場(chǎng)概況、紫外LED應(yīng)用領(lǐng)域、紫外技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)概況、UV LED標(biāo)準(zhǔn)體系四方面進(jìn)行展開(kāi)。他介紹，目前UV LED市場(chǎng)的主要應(yīng)用還是固化（2018年市場(chǎng)規(guī)模約1.2億美元，占比大約58%）；從2021年開(kāi)始，UVC LED性能逐漸提升，消毒凈化的市場(chǎng)將崛起并逐漸取代固化應(yīng)用的統(tǒng)治地位（預(yù)測(cè)2021年市場(chǎng)規(guī)模約2.4億美元，占比大約56%）。深紫外LED面臨晶體質(zhì)量差、電注入效率低、極化效應(yīng)、低的光提取效率技術(shù)瓶頸。

最后，CSA聯(lián)盟常務(wù)副秘書(shū)長(zhǎng)阮軍做會(huì)議總結(jié)，他表示，非常感謝各位專(zhuān)家為本次培訓(xùn)會(huì)精心準(zhǔn)備的培訓(xùn)課件，感謝各企業(yè)技術(shù)負(fù)責(zé)人、高校老師、學(xué)生報(bào)名參加、積極互動(dòng)，不過(guò)本次活動(dòng)時(shí)間安排還是比較緊張，今后聯(lián)盟將會(huì)吸取經(jīng)驗(yàn)，設(shè)置更多問(wèn)答、互動(dòng)環(huán)節(jié)，根據(jù)產(chǎn)業(yè)熱點(diǎn)需求開(kāi)展此類(lèi)活動(dòng)，為行業(yè)提供更好的學(xué)習(xí)、溝通、交流的平臺(tái)，促進(jìn)產(chǎn)業(yè)發(fā)展進(jìn)步。最后再次感謝大家的參與和對(duì)聯(lián)盟的支持，本次會(huì)議圓滿(mǎn)完成。