某些物質(zhì)具有使其能夠吸收特定波長的紫外線的性質(zhì)，并且可以通過照射紫外光并測量透射的光量來獲得氣體中的濃度。該原理用于臭氧分析設(shè)備，也用于TOC（總有機(jī)碳），蛋白質(zhì)，SOx，NOx，氯等，并且可以使用類似的原理進(jìn)行分析。

為了分析這些物品，通常使用UV汞燈。但是，在尺寸和電壓方面存在各種限制。通過在該分析設(shè)備中使用深紫外LED，可以實現(xiàn)小型化和低功耗。